SiC Wafer 가공 프로세스
Shaping
Slicing
Grinding
CMP
Cleaning
Inspection
-
소재의 형상 및 Flat Zone 연마 공정
-
Wire를 이용한 Ingot 절단 공정
-
단면 or 양면 연마하여 Wafer 두께 제어 공정
-
Wafer 표면 고평탄화 및 스크래치 제거 공정
-
Wafer 표면 불순물 제거 공정
-
결정성 및 가공성 품질 평가 공정